基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 氢 |
| 英文名称： | Gas for electronic industry—Hydrogen |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 替代GB/T 16942-1997 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-05-01 |
| 首发日期： | 1997-08-13 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会 |
| 起草单位： | 中国计量科学研究院、西南化工研究设计院 |
| 起草人： | 周泽义、周鹏云 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-05-01 |
| 页数： | 12页 |
| 计划单号： | 20062405-T-469 |
适用范围
本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190-2009 危险货物包装标志
GB/T3634.1 氢气 第1部分 工业氢
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB4962 氢气使用安全技术规程
GB5099 钢质无缝气瓶(GB5099-1994,neqISO4705:1993)
GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法
GB7144 气瓶颜色标志
GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB14194 永久气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定
所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体